| Индивидуализация: | Доступный |
|---|---|
| Послепродажное обслуживание: | онлайн-поддержка видео |
| Гарантия: | 1 год |
| Стоимость доставки: | Свяжитесь с поставщиком по вопросам стоимости перевозки и предполагаемого времени доставки. |
|---|
Поставщики с проверенными бизнес-лицензиями
Проверено независимым сторонним инспекционным агентством
Основная машина
| ||||||||
Model
|
СЕРИЯ KM-X5000
| |||||||
Принцип измерения
|
Оптическая визуализация в режиме индукционной катушки
| |||||||
Спектральная конфокальная
| ||||||||
Контакт датчика
| ||||||||
Камера
|
Высокоточная камера
|
Камера с широким углом обзора
| ||||||
Пиксель
|
25миллионов
| |||||||
Спектр
|
Моно
|
Цветной, черно-белый
| ||||||
Одно поле обзора/мм
|
6x6
|
25x25
| ||||||
Сшитое поле обзора/мм
|
306x206
|
325x225
| ||||||
Точность измерения одиночного поля обзора/μm
|
≤±0.7
|
≤±2
| ||||||
Точность измерений на строках/μm
|
Строчка по одной оси≤1.8+L/50
| |||||||
Двухосная сшивка≤2.8+L/50
| ||||||||
L представляет длину измерения, с единицами измерения в мм
| ||||||||
Диапазон сканирования/мм
|
220x170
| |||||||
Освещение
|
Белый коаксиальный светильник
| |||||||
Четырехзонный регулируемый четырехцветный кольцевой светильник
| ||||||||
Четырехзонный регулируемый четырехцветный щелевой светильник
| ||||||||
Четырехцветный нижний параллельный свет
| ||||||||
Каждая зона может управляться независимо для открывания и закрывания
| ||||||||
Можно регулировать цвета и интенсивность
| ||||||||
Источник кольцевого света поддерживает автоматическое восстановление безопасности
| ||||||||
Поддерживает автоматическое освещение
| ||||||||
Поддержка расширения источника света
| ||||||||
Фокус оси Z
|
Автофокусировка, ручная фокусировка
| |||||||
Диапазон перемещения платформы XY/мм
|
300x200
| |||||||
Интервал сканирования XY Stage/μm
|
1-500μm
| |||||||
Метод управления на этапе XY
|
Линейный двигатель
| |||||||
Лазерная линза
| ||||||||
Model
|
KM-LN001
|
КМ-LN002
|
KM-LN003
|
KM-LN004
|
KM-LN005
|
КМ-LN006
| ||
Диапазон измерений/μm
|
±50
|
±200
|
±600
|
±1300
|
±2000
|
±5000
| ||
Разрешение толщины пленки/μm
|
5
|
20
|
60
|
130
|
200
|
500
| ||
Максимальный угол измеряемого элемента/°
|
±46.5
|
±43
|
±32
|
±31
|
±21
|
±13
| ||
Функции
|
Поддержка программно-управляемого переключения
| |||||||
Поддерживает автоматическое восстановление безопасности
| ||||||||
*каждая модель СЕРИИ KM-X5000 может быть дополнительно оснащена двумя типы
| ||||||||










